中国芯!“超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片       2018年11月29日，由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”顺利通过验收。验收专家组由中国科学院理化技术研究院许祖彦院士担任组长。该项目组结合实际应用需求，通过技术的延伸，实现了系列化的超分辨光刻装备研制，解决了多种微纳功能材料和器件的加工难

       我院承担的辽宁省科技创新重大专项“高精密激光划片机工艺技术及装备研究”顺利通过验收，成功研制出国内先进的12英寸高精密微水束耦合激光划片机，填补了国内空白，在破解制约国产高端激光IC划切装备及关键工艺瓶颈的道路上迈出坚实一步。       10月23日，省重大专项验收专家组听取了项目组的研制工作总结，并针

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