コフロック（株） 3665-3-100 コフロック　マスフローコントローラ

特長 専用ソレノイドアクチュエータで精密制御が可能です。 高速応答センサーを搭載しています。 安全方向動作のノーマリクローズバルブを採用。 電気信号による簡単制御(※専用リードアウトユニットが必要です)。 用途 環境計測機器に 一般分析機器に。 パージ装着に 半導体関連機器に 商品スペック 仕様・規格 ISO9001認証取得工場製 ISO14001認証取得工場製 耐圧：980KPa 繰返し性：±0.5% F.S以内 制御範囲：2～100% F.S(MODEL3660 マスフローコントローラ) 5～100% F.S(MODEL3665) 応答速度：0-100%応答2秒以内(MODEL3660) 0-100%応答4秒以内(MODEL3665) 動作差圧：F.S≦5SLM 49～294kPa ：5SLM＜F.S≦2 精度：±1.5% F.S以内(MODEL3660) ±2% F.S以内(MODEL3665) 接続サイズ：Rc3/8 流体：空気 接続サイズ：Rc3/8 精度：±1.5% F.S以内(MODEL3660) ±2% F.S以内(MODEL3665) 流体：空気 耐圧(KPa)：980 最大流量：100SLM
材質 本体:SUS316L●ロリング:バイトン
質量・質量単位 1357ｇ
使用条件 - 注意事項 - セット内容・付属品 - 生産国 日本
小箱入数 小箱入数とは、発注単位の商品を小箱に収納した状態の数量です。 1個 大箱入数 大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。 - エコマーク商品認証番号 - コード39 - コード128 - ITF - 関連品情報 -