欢迎莅临TRUSCO168  | 日本TRUSCO(中山)代理,MRO一站式采购!


微信



日本厂家供应 ULVAC 爱发科 真空泵HR HR60/HR90/HR300 当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀

2024-07-19 admin


多级罗茨型干真空泵

HR/UR系列

HR


通过在高温范围内均匀加热泵体,
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。


特征

可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
UR系列可以达到比HR系列更高的温度。

配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。
瞬时停电对策
我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。
优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。
通讯功能
可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。


目的

化学气相沉积设备
蚀刻设备
灰化装置

酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等



规格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵数据恢复计划HR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
抽速 
50赫兹立方米/小时
(升/分钟)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60赫兹立方米/小时
(升/分钟)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
极限压力0.67     
最大入口压力
(吸入压力)

大气压*1
最大排气口压力
(排出压力)
1~大气压
进气口(CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排气口KF40
大量的公斤180245275370420
电力三相交流电压(赫兹)200(50/60), 220(60)
当前值稳定状态A7.1
(200V 时)
11.2
(200V 时)
7.8
(200V 时)
12.9
(200V 时)
15.4
(200V 时)
最大值A7.3
(200V 时)
11.8
(200V 时)
8.1
(200V 时)
13.8
(200V 时)
18.9
(200V 时)
冷却水暂压兆帕0.1~0.3
冷却水进出水压差兆帕>0.1
冷却水流量升/分钟>5.0
吹扫气体一次压力兆帕0.1~0.5
二次压力兆帕0.05~0.1
氮气吹扫可持续发展管理
加斯巴拉可持续发展管理0~45

*1 对于 HR300、HR600 和 HR1200,请勿在吸入压力 200Pa 或更高的情况下连续运行。



HR系列型号:

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200