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日本源头报价 ULVAC 爱发科 抽油泵PST系列 PST-030CU/PST-030AU/PST-050CU/PST-050AU 超高真空区域的优良启动特性

2024-07-22 admin


抽油泵

PST系列

PST


PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX



PST-110AU

PST-200CXII

PST-200AXII

PST-400CXII

PST-400AXII



是利用溅射的活性钛的吸气作用,强化了在超高真空区域的排气特性的泵。

通过谋求新型元件和磁场的最优化,提高了在极·超高真空领域的排气特性。


特性

支持超高真空。安装ISO规格的测试圆顶,证实10-9Pa台的到达压力。

稀有气体排气强化型(AU型)相对于氩气实现2倍的排气性能。(本公司比)

在超高真空区域实现大的排气速度。

可以在短时间内排气到超高真空区域。

超高真空区域的优良启动特性。(放电持续到超高真空区域)


用途

加速器

电子显微镜

电子束描绘装置

不喜欢振动的分析装置

极、超高真空环境的利用等



规格

型号PST-030CUPST-030AUPST-050CUPST-050AUPST-100CXPST-100AX
排出目标气体活性气体稀有气体活性气体稀有气体活性气体稀有气体
再生抽速*0.03m 3 / s
N2测量
0.013m 3 /s
Ar测量
0.045m 3 / s
N2测量
0.016m 3 /s
Ar测量
0.10m 3 / s
N2测量
0.05m 3 /s
Ar测量
极限压力10 -9
运营压力推荐值<8.0×10 -3 Pa<5.0 × 10-3Pa
内部容积0.67 × 10-3立方米1.3x10 -3立方米3.3x10 -3立方米
泵元件数量CU型电池×1AU型电池 x 1CU型电池×1AU型电池 x 1CX型电池×1AX型电池×1
连接法兰型号UFC070UFC114UFC152
施加电压DC+7.5kV
加热器无设置单相AC200V,300W单相AC200V,320W
标准烘烤
温度
250℃
质量9.5公斤12公斤37公斤
外形尺寸 宽×深×高103×183×187毫米153×204×241毫米155×336×340毫米
使用环境温度范围5~40℃
湿度范围85%以下(无凝露)

固定螺栓孔尺寸
4 个位置 - M5
深度 10mm
4 个位置 - M8
深度 6mm
推荐控制器GST-07L-B

*使用GST-07L控制器时


型号PST-110AUPST-200CXIIPST-200AXIIPST-400CXIIPST-400AXII
排出目标气体活性气体活性气体稀有气体活性气体稀有气体
再生抽速*0.11m 3 / s
N2测量
0.2m 3 / s
N2测量
0.02m 3 /s
Ar测量
0.36m 3 / s
N2测量
0.19m 3 /s
Ar测量
极限压力10-9帕10-10帕
运营压力推荐值<4.5x10 -3<3.8x10 -3<3.0x10 -3
内部容积6.5x10 -3立方米11x10-3立方米14x10-3立方米
泵元件数量AU型电池 x2CX型电池×2AX 型电池 x 2CX型电池×4种AX型单元x 4公式
连接法兰型号UFC152UFC203
施加电压DC+7.5kV
加热加热器无设置单相AC200V,600W单相AC200V,800W
标准烘烤温度250℃
质量36.5公斤65公斤124公斤
外形尺寸 宽×深×高171×387×293毫米296×361×376毫米296×544×376毫米
使用环境温度范围5~40℃
湿度范围85%以下(无凝露)
泵固定螺栓孔尺寸4 个位置 - M6
深度 15mm
4 个位置 - M8
深度 15mm
6 个位置 - M8
深度 15mm
推荐控制器GST-07L-B

*使用GST-07L控制器时


PST系列控制器

型号GST-07L-B
输入规格输入电压/电流AC100~115V±10% ・50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ・50/60Hz~1.5A
漏电流6mA以下
输入电压切换方式手动(通过电源内部的拨码开关操作)
输出规格额定电压DC+7.5kV(约1.0~7.5kV体积可变)
额定电流DC30mA以下
输出极性正极性
输出特性恒压特性
显示方式数字显示(7段LED显示)
显示内容输出电流显示范围1μA~30mA(mA、μA 2量程自动切换)
输出电压显示范围DC0.0~7.5kV
压力显示Pa显示1×10 -8 ~1×10 -2
mbar显示1×10 -10 ~1×10 -4
压力设定点2分
保护功能配备错误显示/各种保护功能
显示屏亮起时,高压 (HV) 输出被切断(Err.0 至 8)
断电后恢复当HV-ON开关处于ON状态时,断电后可自动恢复。
外部控制功能配备各种输入功能(带REMOTE连接器)和RS232C通信控制
MONITOR端子输出信号输出与面板 7 段显示成比例的信号,每个范围 DC0 至 10VF.S。
允许负载阻抗100kΩ以上
远程/本地可通过前面板开关切换
冷却方式强制风冷方式
质量主体4.0公斤
外形尺寸宽×高×深200 x 99 x 370mm(不含机架安装支架)
使用环境温度范围0~40℃
湿度范围85%以下(无凝露)
兼容标准CE、cTUVus





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