抽油泵
PST系列
PST
PST-030CU
PST-030AU
PST-050CU
PST-050AU
PST-100CX
PST-100AX
PST-110AU
PST-200CXII
PST-200AXII
PST-400CXII
PST-400AXII
是利用溅射的活性钛的吸气作用,强化了在超高真空区域的排气特性的泵。
通过谋求新型元件和磁场的最优化,提高了在极·超高真空领域的排气特性。
特性
支持超高真空。安装ISO规格的测试圆顶,证实10-9Pa台的到达压力。
稀有气体排气强化型(AU型)相对于氩气实现2倍的排气性能。(本公司比)
在超高真空区域实现大的排气速度。
可以在短时间内排气到超高真空区域。
超高真空区域的优良启动特性。(放电持续到超高真空区域)
用途
加速器
电子显微镜
电子束描绘装置
不喜欢振动的分析装置
极、超高真空环境的利用等
型号 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
排出目标气体 | 活性气体 | 稀有气体 | 活性气体 | 稀有气体 | 活性气体 | 稀有气体 | |
再生抽速* | 0.03m 3 / s N2测量 | 0.013m 3 /s Ar测量 | 0.045m 3 / s N2测量 | 0.016m 3 /s Ar测量 | 0.10m 3 / s N2测量 | 0.05m 3 /s Ar测量 | |
极限压力 | 10 -9帕 | ||||||
运营压力 | 推荐值 | <8.0×10 -3 Pa | <5.0 × 10-3Pa | ||||
内部容积 | 0.67 × 10-3立方米 | 1.3x10 -3立方米 | 3.3x10 -3立方米 | ||||
泵元件数量 | CU型电池×1 | AU型电池 x 1 | CU型电池×1 | AU型电池 x 1 | CX型电池×1 | AX型电池×1 | |
连接法兰型号 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
施加电压 | DC+7.5kV | ||||||
加热器 | 无设置 | 单相AC200V,300W | 单相AC200V,320W | ||||
标准烘烤 温度 | 250℃ | ||||||
质量 | 9.5公斤 | 12公斤 | 37公斤 | ||||
外形尺寸 宽×深×高 | 103×183×187毫米 | 153×204×241毫米 | 155×336×340毫米 | ||||
使用环境 | 温度范围 | 5~40℃ | |||||
湿度范围 | 85%以下(无凝露) | ||||||
泵 固定螺栓孔尺寸 | 4 个位置 - M5 深度 10mm | 4 个位置 - M8 深度 6mm | |||||
推荐控制器 | GST-07L-B |
*使用GST-07L控制器时
型号 | PST-110AU | PST-200CXII | PST-200AXII | PST-400CXII | PST-400AXII | |
排出目标气体 | 活性气体 | 活性气体 | 稀有气体 | 活性气体 | 稀有气体 | |
再生抽速* | 0.11m 3 / s N2测量 | 0.2m 3 / s N2测量 | 0.02m 3 /s Ar测量 | 0.36m 3 / s N2测量 | 0.19m 3 /s Ar测量 | |
极限压力 | 10-9帕 | 10-10帕 | ||||
运营压力 | 推荐值 | <4.5x10 -3帕 | <3.8x10 -3帕 | <3.0x10 -3帕 | ||
内部容积 | 6.5x10 -3立方米 | 11x10-3立方米 | 14x10-3立方米 | |||
泵元件数量 | AU型电池 x2 | CX型电池×2 | AX 型电池 x 2 | CX型电池×4种 | AX型单元x 4公式 | |
连接法兰型号 | UFC152 | UFC203 | ||||
施加电压 | DC+7.5kV | |||||
加热加热器 | 无设置 | 单相AC200V,600W | 单相AC200V,800W | |||
标准烘烤温度 | 250℃ | |||||
质量 | 36.5公斤 | 65公斤 | 124公斤 | |||
外形尺寸 宽×深×高 | 171×387×293毫米 | 296×361×376毫米 | 296×544×376毫米 | |||
使用环境 | 温度范围 | 5~40℃ | ||||
湿度范围 | 85%以下(无凝露) | |||||
泵固定螺栓孔尺寸 | 4 个位置 - M6 深度 15mm | 4 个位置 - M8 深度 15mm | 6 个位置 - M8 深度 15mm | |||
推荐控制器 | GST-07L-B |
*使用GST-07L控制器时
型号 | GST-07L-B | ||
输入规格 | 输入电压/电流 | AC100~115V±10% ・50/60Hz~3.0A | |
AC200~240V±10% ・50/60Hz~1.5A | |||
漏电流 | 6mA以下 | ||
输入电压切换方式 | 手动(通过电源内部的拨码开关操作) | ||
输出规格 | 额定电压 | DC+7.5kV(约1.0~7.5kV体积可变) | |
额定电流 | DC30mA以下 | ||
输出极性 | 正极性 | ||
输出特性 | 恒压特性 | ||
显示方式 | 数字显示(7段LED显示) | ||
显示内容 | 输出电流显示范围 | 1μA~30mA(mA、μA 2量程自动切换) | |
输出电压显示范围 | DC0.0~7.5kV | ||
压力显示 | Pa显示 | 1×10 -8 ~1×10 -2 | |
mbar显示 | 1×10 -10 ~1×10 -4 | ||
压力设定点 | 2分 | ||
保护功能 | 配备错误显示/各种保护功能 | ||
显示屏亮起时,高压 (HV) 输出被切断(Err.0 至 8) | |||
断电后恢复 | 当HV-ON开关处于ON状态时,断电后可自动恢复。 | ||
外部控制功能 | 配备各种输入功能(带REMOTE连接器)和RS232C通信控制 | ||
MONITOR端子输出信号 | 输出与面板 7 段显示成比例的信号,每个范围 DC0 至 10VF.S。 | ||
允许负载阻抗100kΩ以上 | |||
远程/本地 | 可通过前面板开关切换 | ||
冷却方式 | 强制风冷方式 | ||
质量 | 主体 | 4.0公斤 | |
外形尺寸 | 宽×高×深 | 200 x 99 x 370mm(不含机架安装支架) | |
使用环境 | 温度范围 | 0~40℃ | |
湿度范围 | 85%以下(无凝露) | ||
兼容标准 | CE、cTUVus |
TRUSCO 中山
http://www.trusco168.cn/news/list-5.html