涡轮分子泵
UTM-MI系列
UTM-MI
UTM1200A
UTM1600A
UTM2300A
UTM3400A
带有使用磁力轴承的集成控制器的涡轮分子泵。
通过集成泵体和控制器，实现了布线和空间的节省。泵体和控制器一体化，
省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。
自由安装方向
由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。
产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。
适用于轻工艺的广域高流量设计
泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。
高耐用性和安全性
通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。
各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 气相沉积设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备
不产生副反应产物的轻工艺主排气系统
更换配备油扩散泵的设备
其他一般高真空排气应用
| 型号 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
| 排气口 | KF40 | |||||||||||
| 极限压力*1 | 10 -7帕 | |||||||||||
| 排气速度*2*3 | N2 | 1030升/秒 | 1400升/秒 | 2100升/秒 | 3200升/秒 | |||||||
| Ar | 980升/秒 | 1330升/秒 | 2000升/秒 | 3100升/秒 | ||||||||
| H2 | 660 升/秒 | 750升/秒 | 1380 升/秒 | 2100升/秒 | ||||||||
| 压缩率 | N2 | 2× 108 | 1×10 8个以上 | 1×10 9个以上 | ||||||||
| He | 7× 103 | 5× 103 | 1×10 5 | |||||||||
| H2 | 8× 102 | 9× 102 | 6× 103 | |||||||||
| 最大入口压力*4 | 26帕 | 4.5帕 | 7帕 | |||||||||
| 最大排气口压力*4 | 266 帕 | 200帕 | 270帕 | |||||||||
| 转数 | 37200 分钟-1 | 33700 分钟-1 | 27600 分钟-1 | |||||||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵指定速度的 25% 至 100% 之间变化。（设置以 0.1% 为增量） | |||||||||||
| 启动时间 | 8分钟内 | 9分钟内 | 16分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||||
| 表面处理*5 | 无 | |||||||||||
| 外部控制 | 远程接口 | D-sub 25 针切刀 触点输入/输出 | D-sub 37 针切刀 触点输入/输出 | |||||||||
| 串行接口 | RS232C/RS485专用圆形连接器 | D-sub9针孔RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 配置 | 与泵体一体化（内置于底部） | ||||||||||
| 电源 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||||
| 最大所需功率 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水*6 | 流量 | 3～4升/分钟 | ||||||||||
| 水压力 | 0.2～0.4MPaG | |||||||||||
| 噪音 | 57分贝(A) | 60分贝(A) | ||||||||||
| 质量 | 43公斤 | 41公斤 | 56公斤 | 94公斤 | ||||||||
| 推荐辅助泵*7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
| 兼容标准 | CE、TUV | |||||||||||
| 标准配件 | 进气口 O 型圈（仅限 VG）、排气口防尘盖、遥控连接器、使用说明书（CD-ROM） | |||||||||||
| 选定规格 | 交流电缆 | AC连接器/AC电缆（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 固定泵的专用螺栓 | M10/M12 | |||||||||||
| 固定泵需要专用螺栓吗？ | 必需品（M10）*8 | 不需要 *8 | ||||||||||
| 可选配件 | 气口适配器：KF10 | |||||||||||
*8 螺栓强度、固定方法等条件多种多样。详情请参阅规格。
外形尺寸
(mm)
| A | B | C | D | E | ||
| UTM1200A | VG150 | 235 | 439 | 218 | - | 285 |
| ISO160F | 225 | 442 | 218 | - | 285 | |
| UTM1600A | VG200 | 300 | 374 | 218 | - | 285 |
| ISO200F | 285 | 374 | 218 | - | 285 | |
| VG250 | 350 | 374 | 218 | - | 285 | |
| ISO250F | 335 | 374 | 218 | - | 285 | |
| UTM2300A | VG250 | 350 | 376 | 233 | 245 | 310 |
| ISO250F | 335 | 376 | 233 | 245 | 310 | |
| UTM3400A | VG300 | 400 | 462 | 233 | 245 | 360 |
| VG350 | 450 | 462 | 233 | 245 | 360 | |
| ISO320F | 425 | 467 | 233 | 245 | 360 | |
注）排气口、气体吹扫口、冷却水阀、冷却水阀连接器的位置和相位因机型而异
详细情况请参照式样书。
TRUSCO 中山
http://www.trusco168.cn/news/list-5.html
