日本源头报价 TOFCO 东富科 USF500S 超声波流量计 USF500N 可支持高温流体

超声波流量计

特点

用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。

USF500N/600N/560N系列

G08、G10、G15、G20、G25

GZ08、GZ10、GZ15、GZ20、GZ25、GC08、GC10

特点

搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性。

采用2频道实现节省空间。

用拆装式电缆布线作业容易。

可支持高温流体。（Max.200℃，高温规格）

多路通信。（最多可连接31台）

USF500N-G08

USF500N-G10

USF600N-GC08

USF600N-GC10

USF500N-G15

USF500N-G20

USF500N-G25HK

USF600S系列

USF600S-GC08A

USF600SL-GC08A

USF600S-GC10A

USF600SL-GC10A

特点

搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性

用拆装式电缆容易进行布线作业

检测器小型化

多通信（最多可连接31台）

USF500S系列

USF500SL-G08、USF500SL-G10、USF500SL-G15、

USF500SL-G20、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、

USF500SL-GZ10、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25

特点

搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性

用拆装式电缆容易进行布线作业

可支持高温流体（Max.200℃，高温规格）

多通信（最多可连接31台）

USF500S系列

规格

流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）

测量频道数：1频道

数据更新周期：10ms

使用环境温度：0～80℃（检测器）/0～50℃（转换器）无结露

测量方式：超声波传播时间差方式

通信功能

可连接RS-485（Modbus-RTU）最多转换器31台