アルバック機工（株） DAU-20 ＵＬＶＡＣ　単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　幅２０３ｍｍ

特長 ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 用途 広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。 ロードロック室排気。 吸着搬送、ハンドリング。 レーザーガス循環・排気用。 真空乾燥装置、連結真空乾燥装置 商品スペック 仕様・規格 3段排気方式 一台から異電圧に別作対応 接ガス部耐食性 到達圧力(KPa)：0.2 吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8) 最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H) 排気速度(L/min)50/60Hz：20/23 到達圧力(Pa)：200 吸気口径(mm)：10 電源(V)：単相100 騒音値(dB)：- 全幅×全長×全高(mm)：161×327×217 寸法(mm)：161×327×217
材質 - 質量・質量単位 7.5ｋｇ
使用条件 使用雰囲気温度範囲：5℃～40℃
注意事項 吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
セット内容・付属品 - 製造国 日本
小箱入数 小箱入数とは、発注単位の商品を小箱に収納した状態の数量です。 1台 大箱入数 大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。 - エコマーク商品認証番号 - コード39 - コード128 - ITF - 関連品情報 -