扩展机
HS-1840
HS-1840 Wafer Expander 是基于我们多年积累的技术诀窍和许多销售结果，从客户的角度开发的。
采用电动载物台，该设备在易用性、准确性和通用性方面都非常出色。
它还可用于晶圆和芯片转移应用。
产品概述
通过马达驱动使载物台上升，可以进行高精度的行程设定。
载物台行程调节机构（可设置为 1 mm 增量/Max80 mm）
触控面板控制
可以扩展配方存储（4 个配方）
薄膜预热机构（带定时器）
舞台加热（最高100℃）
舞台上升速度可变机构
薄膜自动切割机构
最大晶圆尺寸 8 英寸
支持各种扩展环和框架
可用于晶圆和芯片转移应用
规范
电源 AC 100 V 5 A，50/60 Hz
重量 30公斤
大小 655 (D) x 386 (W) x 335 (H) 毫米
TRUSCO 中山
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