超声波流量计
用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。
USF500S系列
USF500S-G08、USF500S-G10、USF500S-G15、
USF500S-G20、USF500S-G25、USF500S-GZ08、
USF500S-GZ10、USF500S-GZ15、USF500S-GZ20、USF500S-GZ25
USF500SL-G08、USF500SL-G10、USF500SL-G15、
USF500SL-G20、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、
USF500SL-GZ10、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性
用拆装式电缆容易进行布线作业
可支持高温流体（Max.200℃，高温规格）
多通信（最多可连接31台）
性能
流体：纯水，浆液，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）
测量频道数：1频道
数据更新周期：10ms
测量输出：4-20mA
●分辨率：12bit（约1/4000步）
●最大负载电阻：600Ω
●输出端口：输出端口：1系统
根据瞬时流量值、累计值选择
●瞬时流量范围：与上述测定流量范围相同
电源电压：DC24V±10%
消耗电流：通常时：100mA以下（冲击电流：约8A/0.5ms以下）
TRUSCO 中山
http://www.trusco168.cn/news/list-5.html
