超声波流量计
用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。本体采用了对强酸、强碱也有耐性的PFA树脂。
USF500N/600N/560N系列
-G08、-G10、-G15、-G20、
-G25、-GZ08、-GZ10、-GZ15、
-GZ20、-GZ25、-GC08、-GC10
USF50ON-G08
USF50ON-G10
USF60ON-GC08
USF60ON-GC10
USF500N-G15
USF50ON-G20
USF500N-G25HK
特点
搭载DSP功能，提高稳定性、响应性、耐气泡性。
采用2频道实现节省空间。
用拆装式电缆布线作业容易。
可支持高温流体。（Max.200℃，高温规格）
多路通信。（最多可连接31台）
性能
流体：纯水，浆料，药液（IPA，H姶O姶，H姶SO₄，H₃PO₄，HF，HCl，O₃，NH₃等）
测量流量精度（出厂校准时）：±1%of R.D.※测量流量范围的10%以下：±0.1%of F.S。
“纯水20℃（室温25℃），流量稳定状态下校准的瞬时流量精度”。
测量频道数：2频道
数据更新周期：10ms
测量方式：超声波传播时间差方式
输入信号（数字输入）：
●TTL或无电压接点输入
●输入端口2系统1系统只能复位1种输入
●从各CH的累计值复位输入及零点调整输入中选择
测量输出：DC4-20mA
●分辨率：12位（约1/4000步）：12bit（Approx.1/4000）
●精度：4mA±0.05mA、20mA±0.1mA
G08/GC08G10/GC10：～32.00L（设定步骤0.001L）
G15/G20/G25HK：～320.00L（设定步骤0.01L
TRUSCO 中山
http://www.trusco168.cn/news/list-5.html
